Accéléromètre MEMS numérique TopAxyz
La gamme de produits TopAxyz MEMS accéléromètres offre une large plage de performances, allant de la navigation à la qualité tactique, avec des économies substantielles en termes de consommation d'énergie et une réduction de la taille dans des environnements stricts.
Les capteurs inertiels TopAxyz sont conformes à une vaste gamme d'applications civiles et militaires telles que les avions, les hélicoptères, les UAV, les véhicules terrestres, les munitions, les satellites et les navires.
L'accéléromètre MEMS triaxial de Thales est conforme aux normes de développement aéronautique (DO254) pour garantir le plus haut niveau de qualité pour les applications critiques en termes de sécurité.
MEMS faciles à intégrer
Avec une interface mécanique, électrique et fonctionnelle unique pour toute la gamme de produits, il est facile de choisir l'unité MEMS TopAxyz compatible avec les performances de votre système. Grâce à sa taille compacte et à son conditionnement réduit, son intégration est très aisée.
La conception des MEMS Thales avec une interface numérique standard (SPI) unique permet de réduire vos coûts d'intégration et d'optimiser vos cycles de développement
Caractéristiques principales des capteurs MEMS numériques
- Accéléromètre haute performance jusqu'à 100 g,
- adapté aux environnements rigoureux
- Excellente stabilité à long terme compatible avec les systèmes inertiels de haute précision Interface numérique
- SPI avec augmentation de vitesse directement disponible pour simplifier le traitement du signal
- Modes de synchronisation configurables pour être maître ou esclave avec débit de données programmable
- Auto-surveillance permanente (IBIT, CBIT) détectant les défaillances internes pour les systèmes critiques en matière de sécurité ou de maintenance
- Capteurs de température internes pour compensation thermique
- Paramètres de compensation stockés dans la mémoire interne Le contrôle et la surveillance du capteur sont simplifiés en accédant aux paramètres du capteur via l'interface numérique principale
Comment fonctionne un capteur MEMS ?
Thales a développé une technologie innovante de capteur inertiel à résonateur basée sur des détecteurs en silicium. Un accéléromètre mesure les changements de fréquence de vibration du résonateur provoqués par la pression exercée par la masse d'épreuve lorsque le véhicule accélère. Dans un gyromètre, la cellule de mesure comprend deux masses qui vibrent dans l'axe x. Sous l'effet de la rotation angulaire dans l'axe y, la force de Coriolis provoque une vibration dans l'axe z, avec une amplitude proportionnelle à cette rotation angulaire
Comment est fabriqué un capteur MEMS ?
Cette technologie nécessite des processus de fabrication spécialisés, notamment pour la cellule, qui est le composant clé des capteurs. Cela implique le scellement sous vide de deux feuilles de silicium pour produire des cavités sous vide, permettant ainsi aux structures vibratoires de fonctionner avec des facteurs de qualité extrêmement élevés.
Avec la miniaturisation des capteurs inertiels rendue possible par la technologie MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques), un nouveau type de produit appelé Unités de Mesure Inertielle Micro (µIMUs) a été développé, comprenant trois accéléromètres et trois gyroscopes avec une masse et un facteur de forme très petits (< 50 cm3).
Associés aux progrès dans les techniques de filtrage et de hybridation Inertiel-GNSS, ces nouveaux capteurs atteignent désormais les performances d'autres systèmes haute performance avec un SWaP (Size, Weight and Power) réduit
Accéléromètres MEMS numériques pour les applications très exigeantes
Les MEMS TopAxyz sont prêts à être intégrés dans des systèmes nécessitant des performances et une intégrité élevée tels que :
- Systèmes de navigation inertielle
- Systèmes de contrôle et de guidage de vol
- Stabilisation de la plateforme
- Instruments sur plates-formes mobiles
- Véhicules aéroportés, terrestres et marins télécommandés